다이싱 블레이드란 무엇입니까? 반도체 패키징 뒤에 있는 초박형 커팅 휠

반도체 백엔드 패키징에서는 완성된 웨이퍼를 개별 다이(Die)로 절단하는 단계를다이싱. 실제로 절단 작업을 수행하는 도구인 다이싱 쏘의 고속 스핀들에 장착된 극도로 얇은 휠은 업계에서 다음과 같이 알려져 있습니다.다이싱 블레이드, 또는 더 공식적으로는초박형 다이싱 휠. 다이아몬드 연마재를 사용하여 반도체 웨이퍼 및 패키지 장치를 기계적으로 절단하며, 반도체 제조의 핵심 소모 정밀 공구로 간주됩니다.

1. 세 가지 구성 요소: 다이아몬드 그릿, 본드, 허브

업계 조사에 따르면 다이싱 휠은 세 가지 요소로 조립됩니다.

• 다이아몬드 그릿: 일반적으로 크기가 1~8μm이며 실제 절단 및 연삭을 수행합니다.
• 노예: 주로 전기주조 니켈(금속 본드) 및 열경화성 수지 본드의 두 가지 제품군;
• 바퀴통: 다이싱쏘 스핀들에 고정되는 정밀 알루미늄 합금 플랜지입니다.

전체 휠 두께는 0.02~1.5mm이며,절삭날 자체의 두께는 9~120μm에 불과합니다.. 주류 상용 사양은 20~60μm로 사람 머리카락 굵기에 가깝습니다.

2. 두 가지 구조 제품군: 허브형 블레이드와 허브리스 블레이드

구성에 따라 다이싱 블레이드는 크게 두 가지 범주로 분류됩니다.

• 허브형("하드") 블레이드: 니켈 전기주형, 다이아몬드 그릿이 알루미늄 플랜지에 일체형으로 통합되어 있습니다. 높은 인성과 강도를 제공하며 좁은 거리, 초박형 실리콘 웨이퍼 및 작은 입자 웨이퍼에 사용됩니다. 뒷면 치핑 및 균열이 훨씬 적고 깔끔한 절단이 가능합니다.
• 허브리스("소프트") 블레이드: 일반적으로 수지 결합으로 탄성이 좋고 모서리가 매우 얇으며 정밀도가 높습니다. 일부 니켈 전기 도금된 허브 없는 버전도 존재합니다. 이는 QFN, DFN, BGA, MEMS, LED, PCB 및 세라믹 기판과 같은 패키지 장치의 고속 정밀 홈 가공 및 절단에 선호됩니다.

3. 다이싱 블레이드를 사용하는 경우

다이싱 휠은 로직 IC, 메모리, 전력 반도체, RF 장치, 광전자 공학, MEMS 및 센서 전반에 걸쳐 실리콘, SiC, GaN, GaAs, InP 및 탄탈산 리튬 등 광범위한 반도체 및 기능성 웨이퍼를 절단합니다. 특히 까다로운 국경은 다음과 같습니다.SiC 등 3세대 반도체: 뛰어난 경도와 취성으로 인해 기존 실리콘보다 다이싱이 훨씬 더 어려워지고 관련 블레이드 프로세스는 여전히 적극적으로 최적화되고 있습니다.

4. 허브형 블레이드 제작 방법: 전기 주조 공정

단단한 블레이드를 예로 들면, 정밀하게 마감된 알루미늄 허브를 금형에 넣고 탈지, 산화물 제거, 산 세척 및 알루미늄 활성화 등 전기 도금 전처리를 수행합니다. 그런 다음 다이아몬드 입자와 혼합된 전해질에서 전기 주조됩니다. 니켈 이온은 허브 표면에 침전되어 완전한 초박형 다이아몬드 휠이 만들어질 때까지 니켈 코팅 내부에 다이아몬드 입자를 층별로 고정시킵니다.

5. 중국은 이미 대량 생산 능력을 갖추고 있다

업계 분석에 따르면 중국은 다음과 같은 3개의 대표적인 플레이어와 함께 다이싱 블레이드의 국내 대량 생산을 확립했습니다.

• Sanmo 연구소(Sinomac Precision 산하 정저우 연마재 및 연삭 연구소): 반도체 웨이퍼용 초박형 다이아몬드 다이싱 블레이드를 일괄 생산하고 있습니다. 가장 얇은 블레이드는 10μm에 달하며 4인치 웨이퍼를 약 2,000개의 스트리트로 절단하고 약 800,000개의 다이를 생산할 수 있습니다.
• GL 기술 (광리 기술): 2026년 8월에 국내 소모품 블레이드 생산 능력을 빠르게 늘리고 있다고 공개했습니다. 소프트 블레이드는 이미 소량 판매 중이고, 하드 블레이드는 고객 검증 중이다.
• Nantong Weiteng 반도체: 연간 다이싱 블레이드 용량이 1,000,000개를 초과합니다.

폐쇄

다이싱 블레이드는 백엔드 패키징의 또 다른 작은 소모품처럼 보이지만 다이싱 수율, 치핑 크기 및 재료 활용도를 직접적으로 결정합니다. SiC 및 GaN 3세대 반도체의 확산과 첨단 패키징의 정밀도가 점점 더 엄격해짐에 따라 이 마이크론 크기의 얇은 휠은 국내 대체의 핵심 카테고리 중 하나가 되었습니다.

huicetools 소개:2006년에 설립된 다이아몬드 공구 전문 제조업체입니다. 다년간의 실무 경험을 바탕으로 경쟁력 있는 가격으로 공장에서 직접 판매하고 있습니다. 당사의 제품 라인에는 다이아몬드 톱날, 다이아몬드 그라인딩 블록, 다이아몬드 드릴 비트 및 건축용 다이아몬드 공구 전 범위가 포함됩니다.

부인 성명:이 기사는 업계 참고용으로만 제공되는 중국 인터넷에서 공개적으로 이용 가능한 보고서를 수정하고 다시 작성했습니다. 여기에 인용된 용량 수치, 제품 매개변수 및 적용 정보는 언급된 연구 기관 및 회사의 공개 정보에서 나온 것입니다. 실제 성능은 애플리케이션 조건에 따라 다릅니다. 우리는 그 완전성, 정확성 또는 적시성에 대해 어떠한 진술도 하지 않으며 이 기사는 투자 또는 조달 조언을 구성하지 않습니다. 재출판이나 인용을 원하시면 huicetools에 연락하여 원본 출처를 밝히시기 바랍니다.