CBN의 이종 에피 택시

CBN과 매우 가까운 격자 상수 및 표면 에너지를 갖는 기판으로 다이아몬드를 사용하면 CBN의 이종 에피 택셜 성장이 가능합니다. 이들 에피 택셜 싱글 - 크리스탈 CBN 박막의 성공은 CBN 박막을 효과적으로 사용하여 반도체 장치를 제조 할 수있게했다.

 

 

또한, 다른 물질은 또한 CBN 필름의 이종 에피 택셜 성장을위한 기질로서 사용될 수있다. 예를 들어, 실리콘 기판의 사전 - 처리 후, TBN은 기판에서 직접 성장하여 전이층의 두께를 효과적으로 감소시킬 수있다.

 

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